真空泵是一种普遍采用的造成真空的设备，可分为往复式、回转式等。 本文着重讲解一下往复式真空泵的原理。

往复式真空泵

图1是单动往复式真空泵的工作原理示意图:它的工作过程是:当活塞向右移动时，气缸内活塞左边的空间体积增大，气体压力下降。当压力下降到稍小于吸入口管内压力时，吸入口的气体顶开进气阀而进入气缸内。气体随着活塞右移而继续进入气缸，直至活塞移动到右边末端才停止进气，此为吸气过程。在吸气过程中，由于排气阀外的气体压力大于气缸内的压力，因此排气阀不能打开。当活塞开始向左移动时，进气阀便被气缸内的了毛体所压闭，这样气体不能流回吸入管线。当活塞移动到一定位置时，气缸内的气体被压缩到压力稍大于出口的压力时，排气阀便被顶开，气缸内的气体被排出，直至活塞移动到左边末端为止，此为排气过程。这样活塞来回作往复的运动，便可在吸入管处形成真空。

往复式真空泵也有单级和多级的区别。单级双动高速真空泵真空度可达10-20毫米汞柱(绝对压力).多级真空泵可以达到更高的真空度。